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          充分尊重客戶,以客戶為中心營造我們的經營環境,客戶的滿意是我們的追求! 

        南京鵬控機電設備有限公司,一個不斷追求專業化的公司 http://www.hmpfjs.com 電話:025-58860935、85355355、58850162、58850165 傳真:025-58575593 感謝新老客戶關愛與支持!友誼、共享、感恩!

        日本松定高壓電源HMEC系列
        型號:靜電チャック用高圧電源
        品牌:日本松定電源[鵬控代理]
        產品說明

        靜電チャック用高圧電源

        HMECシリーズは、靜電チャック専用に開発された高電圧電源です。小型組込型で裝置への組込が容易です。外部信號により出力極性を切り換えることでスムーズにウェハーの剝離が可能になります。

        • 靜電チャック専用設計。
        • 両極性切換式によるスムーズな剝離。
        • 外部信號による出力極性、出力電圧の制御。
        • 出力電圧電流モニタ付。

        出 力

        モデル名

        電 圧[kV]

        電 流[mA]

        リップル[%rms]

        ±1

        10

        0.1

        HMEC-1R10

        ±1.5

        6.6

        0.1

        HMEC-1.5R6.6

        ±2

        5

        0.1

        HMEC-2R5

        ±3

        3.3

        0.1

        HMEC-3R3.3

        ±5

        2

        0.1

        HMEC-5R2

        ±10

        1

        0.1

        HMEC-10R1

         

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